東京電子株式会社

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出展企業情報

出展分類機械・金属・電気機器
ブースNo.A27
トウキョウデンシカブシキガイシャ東京電子株式会社

封止デバイスの残留ガスを計測する!

車の自動運転化には欠かせないセンサーデバイス。その封止パッケージへの外部からの気体混入は大きな品質劣化につながります。
そこで東京電子の残留ガス分析装置はどんな微量な混入ガスも見逃しません。10E-15Pa・m3/secの超微量リークを発見する。これが安全性を担保する求められる極限の値です。これを実現する東京電子の超微量残留ガス分析装置です。

基本情報

弊社は従来の材料であるステンレスに代わり超低ガス放出のBeCu材を使用した極高真空コンポーネントを製造販売しております。また、この極高真空コンポーネントを使ってシステムを組み超微量リークを発見できる残留ガス分析装置をご提供しております。
所在地 〒 185-0012   東京都国分寺市本町2-22-7
代表役職 代表取締役社長
代表 黒岩雅英
URL 1 www.toel.co.jp
資本金 30百万円
従業員 21人人
創業(西暦) 西暦 1957年

詳細情報

お問い合わせ
窓口担当者 シニアマネージャー  岸川信介
電話番号 042-329-5090
FAX番号 042-329-5091
Eメール sam.kishikawa@toel.co.jp
事業内容
  1. 真空計測器、質量分析器、真空構造材の製造販売
  2. 極高真空システム、残留ガス分析装置の製造販売
  3. 成膜用プラズマ電源の製造販売
主要製品
  • 超低ガス放出質量ガス分析計WATMASS
  • 極高真空計 3B-Gauge
  • BeCu真空構造材 魔法のニップル / 魔法の6面体 Cube
  • 極高真空発生用 非蒸発ゲッターポンプ マジックNEGポンプ
  • 極高真空発生用 アトマイズ・グラニューゲッターポンプ AG-NEG
  • 超高感度質量ガス分析装置
  • 広帯域コンビネーション真空計 CC-10
  • 大電力マグネトロンスパッタリング HiPIMS用パルス電源